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电子六氟化钨

[ 时间:2018-07-25 17:42:46 ]
电子六氟化钨
详情介绍
  电子六氟化钨:用于半导体产业中晶圆生产过程的外延片的钨沉积。
  近年来,黎明院电子六氟化硫、三氟化氮、四氟化碳、六氟化钨等含氟种气体的研发也取得了丰硕成果,其中自主研发的处于际先进水平的新型电解技术可实现直接步反应生产三氟化氮,其产品指标达到际先进水平。超高纯六氟化硫、四氟化碳的研发列入家重大项课题“02项”, 重点开发满足半导体集成电路域使用的更高纯度含氟电子气体。
  2016年6月,黎明院建设的1000吨/年三氟化氮项目,面建成并达到设计能力,黎明院成为中二大三氟化氮生产商,二期1000吨/年正实施中。该项目实现技术与市场的强强联合……
  2016年4月,黎明院获批设立含氟电子气体河南省工程实验室,将实现主要含氟电子气体产品的产化,建成在际上有定影响力的含氟电子化学品创新平台,开展技术研究、成果转化和技术辐射,为集成电路、平面显示器件、半导体器件、太阳能电池等电子工业发展提供强力支撑。
  未来几年,黎明院继续加大研发和产业化力度,肩负起电子气体材料产化的重担,逐步由生产商向内 流的生产+综合气体供应商转型发展,满足内外相关域发展的需求。
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